|
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособиеПроцессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
823
руб
Издательство: Лаборатория знаний
Серия: Нанотехнологии Год выпуска: 2018 Страниц: 283 Тип обложки: 7Б - твердая (плотная бумага или картон) Иллюстрации: Черно-белые Масса: 400 г Размеры: 220x151x15 мм Наличие: Отсутствует
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
|
||
© 2024, Издательство «Альфа-книга»
Купить самые лучшие и популярные книги в интернет магазине "Лабиринт"
|
Иллюстрации к "Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие"