Товаров: 0
Цена: 0 руб.
Логин (e-mail):  
Пароль:   Забыли пароль?

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие


Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
539 руб  Купить
ID товара: 586504
Год выпуска: 2018
Страниц: 283
Тип обложки: 7Б - твердая (плотная бумага или картон)
Иллюстрации: Черно-белые
Масса: 400 г
Размеры: 220x151x15 мм
Наличие: На складе
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Иллюстрации к "Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие"



Покупают вместе с "Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие"

Arduino Uno и Raspberry Pi 3. От схемотехники к интернету вещей
Arduino - от теории к практике!
Учебное пособие из двух частей на примере наиболее поулярных плат
34 практических...
1223 руб  Купить
Обеспечение электромагнитной безопасности электросетевых объектов
Представлены данные о риске для здоровья населения воздействия электромагнитных полей промышленной частоты, создаваемых при...
4070 руб  Купить
Справочник по проектированию стальных конструкций
В книгу включены справочные материалы, необходимые для проектирования стальных конструкций с учётом изменений, произошедших в...
1600 руб  Купить

Книги из серии "Нанотехнологии"

Физико-химическая эволюция твердого вещества
Книга, написанная специалистом в области исследования гетерогенных процессов, посвящена проблеме, которая находится на стыке...
398 руб  Купить
Нано- и биокомпозиты
Книга представляет собой обзор исследований последних лет, посвященных изучению усиленных нанонаполнителями композиционных...
1615 руб  Купить
Экология наноматериалов. Учебное пособие
В данном учебном пособии рассмотрены потенциальные и реальные экологические риски, возникающие при взаимодействии наноматериалов...
556 руб  Купить




 
Купить самые лучшие и популярные книги в интернет магазине "Лабиринт"