Товаров: 0
Цена: 0 руб.
Логин (e-mail):  
Пароль:   Забыли пароль?

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие


Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
521 руб  Купить
ID товара: 586504
Год выпуска: 2018
Страниц: 283
Тип обложки: 7Б - твердая (плотная бумага или картон)
Иллюстрации: Черно-белые
Масса: 400 г
Размеры: 220x151x15 мм
Наличие: На складе
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Иллюстрации к "Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие"



Покупают вместе с "Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие"

Обеспечение электромагнитной безопасности электросетевых объектов
Представлены данные о риске для здоровья населения воздействия электромагнитных полей промышленной частоты, создаваемых при...
4070 руб  Купить
Аэродинамика промышленных зданий: аэродинамические расчёты при проектировании вентиляционных выбр.
В систематизированном виде приведены рекомендации, методики и зависимости, необходимые для расчета воздействия ветра на...
2074 руб  Купить
Обеспечение долговечности рабочих органов почвообрабатывающих машин
В книге изложены критерии предельного состояния рабочих органов почвообрабатывающих машин в результате изнашивания, аналитические...
1426 руб  Купить

Книги из серии "Нанотехнологии"

Электронные свойства  и применение нанотрубок
Монография всеобъемлюще отражает самые последние сведения в области изучения и применения нанотрубок за последние двадцать лет....
521 руб  Купить
Инновационные кластеры наноиндустрии
Впервые читателям представлен феномен инновационных кластеров в мировой и российской наноиндустрии. Для чего и как формируются...
929 руб  Купить
Введение в нанотеплофизику
Эта книга - одна из первых в мировой литературе монографий, посвященных тепловым процессам в наномасштабных системах....
1615 руб  Купить




 
Купить самые лучшие и популярные книги в интернет магазине "Лабиринт"