|
Нанотехнологии в микроэлектроникеНанотехнологии в микроэлектронике
1321
руб
Издательство: Наука
Год выпуска: 2019 Страниц: 511 Тип обложки: 7Б - твердая (плотная бумага или картон) Оформление: Тиснение золотом Иллюстрации: Черно-белые + цветные Масса: 1010 г Размеры: 244x176x33 мм Наличие: Ограничено
В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных устройств новых поколений информационно-телекоммуникационных систем. Рассмотрены возможности практического применения методов проектирования и изготовления сверхбыстродействующих интегральных элементов СБИС и УБИС, многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, устройств нанопьезотроники, микроэлектронной сенсорики, нейроморфных систем и вакуумной микроэлектроники на основе использования перспективных методов нанотехнологии: молекулярно-лучевой эпитаксии, импульсного лазерного осаждения, плазмохимического осаждения из газовой фазы, сканирующей зондовой микроскопии и зондовой нано-литографии, фокусированных ионных пучков, электронно-лучевой обработки, а также перспективных методов планарной технологии поверхностной обработки.
Для научных работников и инженеров, специализирующихся в области применения нанотехнологий в микроэлектронике, а также для студентов и аспирантов соответствующего профиля.
|
||
© 2024, Издательство «Альфа-книга»
Купить самые лучшие и популярные книги в интернет магазине "Лабиринт"
|