|
Введение в современную микро- и наносистемную технику. Учебное пособиеВведение в современную микро- и наносистемную технику. Учебное пособие
1508
руб
Купить
Издательство: Инфра-Инженерия
Год выпуска: 2024 Страниц: 232 Тип обложки: 7Бц - твердая, целлофанированная (или лакированная) Иллюстрации: Черно-белые + цветные Масса: 390 г Размеры: 217x154x14 мм Наличие: На складе
Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники.
Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микроэлектронного направления и широкого круга читателей.
|
||
© 2024, Издательство «Альфа-книга»
Купить самые лучшие и популярные книги в интернет магазине "Лабиринт"
|