Нанотехнологии и наноматериалы в радиоэлектронике. Учебное пособие

Рассматривается основное направление развития нанотехнологии в электронике. Сделан подробный обзор технологий получения наноматериалов: нанопорошков, углеродных нанотрубок, фуллеренов, графенов, кремния на изоляторе, фотонных кристаллов. Изложены основные свойства применяемых в наноэлектронике материалов; описаны методы применения их в полупроводниковых приборах и системах. Для студентов электротехнических и радиотехнических специальностей и специалистов, разрабатывающих наноустройства.